سنسور یک دستگاه ردیابی است که می تواند اطلاعات اندازه گیری شده را حس کند و می تواند اطلاعات سنجش شده را به یک سیگنال الکتریکی یا سایر فرم های خروجی اطلاعات مورد نیاز تبدیل کند تا انتقال اطلاعات ، پردازش ، ذخیره سازی و نیازهای نمایش ، ضبط و کنترل را برآورده کند.
طبق فرآیند ساخت طبقه بندی می شود:
سنسورهای مجتمع با استفاده از فناوری فرآیند استاندارد برای تولید مدارهای مجتمع نیمه هادی مبتنی بر سیلیکون ساخته می شوند. بخشی از مدارهای مورد استفاده برای پردازش اولیه سیگنال تحت آزمایش نیز معمولاً در همان تراشه قرار دارد ، مانند سنسور MEMS که اکنون در حال توسعه است.
سنسور فیلم نازک توسط یک فیلم از یک ماده حساس مربوطه که روی یک لایه دی الکتریک (بستر) رسوب کرده است ، تشکیل می شود. هنگامی که از فرآیند اختلاط استفاده می شود ، بخشی از مدار نیز می تواند بر روی این بستر ساخته شود.
سنسور فیلم ضخیم با پوشاندن دوغاب ماده متناظر با آن روی یک لایه سرامیکی که معمولاً از Al2O3 ساخته می شود ، ساخته می شود و سپس تحت عملیات حرارتی قرار می گیرد تا یک فیلم ضخیم تشکیل شود.
سنسورهای سرامیکی با استفاده از فرایندهای استاندارد سرامیک یا برخی از تغییرات آن (سل ، ژل و غیره) تولید می شوند. پس از اتمام عملیات آماده سازی مناسب ، م formedلفه تشکیل شده در دمای بالا پخته می شود.
ویژگی های مشترک زیادی بین دو فرآیند حسگرهای فیلم ضخیم و سرامیک وجود دارد. از برخی جهات ، فرآیند فیلم ضخیم را می توان به عنوان گونه ای از فرایند سرامیک در نظر گرفت.
انتخاب سنسورها فقط از نظر حساسیت ، پاسخ فرکانس ، دامنه خطی ، پایداری و دقت نیست. پایداری با ماده بستر ارتباط نزدیک دارد. چند مورد اول عمدتا مراحل ساخت را بررسی می کنند. از نظر پایداری ، مناسب ترین صفحه مدار غیر سرامیکی برای سنسورها. پایداری مواد سرامیکی کاملاً مناسب است. تا زمانی که فناوری فرآیند تولید بتواند عبور کند ، صفحه های سرامیکی قطعاً از سایر PCB ها بهتر هستند.
بهترین فرآیند تولید برای صفحات مدار سرامیکی ، فناوری LAM ، لیزر فعال سازی فلز (فناوری LAM) است که با استفاده از پرتوهای لیزر با انرژی بالا ، سرامیک ها و فلزات را یونیزه می کند تا آنها را محکم کند.
با این حال ، در حال حاضر ، تولید کنندگان سنسور داخلی عمدتا کوچک و متوسط هستند. هنوز بسیاری از فرآیندهای فیلم در حال استفاده است ، و لایه های FR-4 استفاده می شود. عمر مفید طولانی نیست ، ثبات ضعیف است و در یک محیط کمی سخت ، آنها مستقیما ضربه می زنند. برای سازگاری سنسور با استانداردهای بین المللی تلاش زیادی لازم است.
این سنسور هنوز به صفحه مدار سرامیکی نیاز دارد. در کشورهای پیشرفته بسیار مورد استفاده قرار گرفته است. چین از نظر فنی محدودیتی ندارد و تعویض برد مدار سنسور به تولیدکنندگان اصلی ، Goer ، Dahua بستگی دارد. برای پیشگامی ، تولیدکنندگان برای انجام نوآوری در فن آوری ، به منظور بزرگتر و قوی تر شدن ، صنعت سنسور چین همچنین می تواند با سرعت جهان پیش برود.
