لیتوگرافی تکنیکی است برای انتقال یک الگوی طراحی شده به طور مستقیم یا از طریق یک محیط میانی بر روی یک سطح صاف، به استثنای مناطقی از سطح که نیاز به الگو ندارند. در لیتوگرافی ماسک، طرح ها بر روی یک بستر چاپ می شوند و با a در معرض دید قرار می گیرندلیزربه طوری که مواد ته نشین شده حکاکی شده و برای پردازش بیشتر آماده می شوند. این روش لیتوگرافی به طور گسترده در تولید انبوه ویفرهای نیمه هادی استفاده می شود. توانایی نمایش تصاویر واضح از ویژگی های کوچک بر روی یک ویفر با طول موج نور استفاده شده محدود می شود. پیشرفته ترین ابزارهای لیتوگرافی امروزی از نور ماوراء بنفش عمیق (DUV) استفاده می کنند و در آینده این طول موج ها به فرابنفش عمیق (193 نانومتر)، فرابنفش خلاء (157 نانومتر و 122 نانومتر) و فرابنفش شدید (47 نانومتر و 13 نانومتر) ادامه خواهند داد. ). محصولات پیچیده و تغییرات مکرر طراحی برای بازارهای IC، MEMS و بیوپزشکی - که در آن تقاضا برای انواع عملکردها و اندازه‌های بستر در حال افزایش است - هزینه ساخت این راه‌حل‌های بسیار سفارشی‌شده را افزایش داده و در عین حال حجم تولید را کاهش داده است. راه‌حل‌های لیتوگرافی مبتنی بر ماسک (ماسک) برای بسیاری از این کاربردها مقرون‌به‌صرفه یا عملی نیستند، جایی که هزینه و زمان مورد نیاز برای طراحی و ساخت تعداد زیادی کیت ماسک می‌تواند به سرعت افزایش یابد. با این حال، کاربردهای لیتوگرافی بدون ماسک به دلیل نیاز به طول موج های بسیار کوتاه UV مانعی ندارد و در عوض از آن استفاده می شود.لیزرمنابع در محدوده آبی و UV. در لیتوگرافی بدون ماسک،لیزربه طور مستقیم ساختارهای میکرو/نانو بر روی سطح مواد حساس به نور ایجاد می کند. این روش لیتوگرافی همه کاره به مواد مصرفی ماسک متکی نیست و تغییرات طرح را می توان به سرعت انجام داد. در نتیجه، نمونه‌سازی و توسعه سریع آسان‌تر می‌شود، با انعطاف‌پذیری طراحی بیشتر، در حالی که مزیت پوشش منطقه بزرگ (مانند ویفرهای نیمه‌رسانای 300 میلی‌متری، نمایشگرهای صفحه تخت یا PCBS) حفظ می‌شود. برای برآوردن الزامات تولید سریع،لیزرهامورد استفاده برای لیتوگرافی بدون ماسک دارای ویژگی های مشابه با مواردی است که برای کاربردهای ماسک استفاده می شود: منبع نور موج پیوسته دارای قدرت طولانی مدت و پایداری طول موج، عرض خط باریک و تغییر اندک ماسک است. پایداری طولانی مدت با نگهداری کم یا وقفه در چرخه های تولید برای هر دو کاربرد مهم است. لیزر DPSS دارای پهنای خط باریک، پایداری طول موج و پایداری توان فوق العاده پایدار است و برای دو روش لیتوگرافی مناسب است. ما لیزرهای پرقدرت تک فرکانس را با پایداری طول موج بی‌رقیب، عرض خط باریک و ردپای کوچک در محدوده طول موج طول‌های خشک طولانی طراحی و تولید می‌کنیم - که آنها را برای ادغام با سیستم‌های موجود ایده‌آل می‌کند.
حق چاپ @ 2020 Shenzhen Box Optronics Technology Co., Ltd. - چین ماژول های فیبر نوری، تولید کنندگان لیزرهای جفت فیبر، تامین کنندگان اجزای لیزر کلیه حقوق محفوظ است.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy
