طبقه بندی اصلی سنسورها:
با هدف
سنسورهای حساس به فشار و نیرو، سنسورهای موقعیت، سنسورهای سطح، سنسورهای انرژی، سنسورهای سرعت، شتابسنجها، سنسورهای تشعشع، سنسورهای حرارتی.
بر اساس اصل
سنسور لرزش، سنسور رطوبت، سنسور مغناطیسی، سنسور گاز، حسگر خلاء، حسگر زیستی و غیره.
سیگنال خروجی را فشار دهید
سنسور آنالوگ: مقدار غیر الکتریکی اندازه گیری شده را به سیگنال الکتریکی آنالوگ تبدیل می کند.
سنسور دیجیتال: مقادیر غیر الکتریکی اندازه گیری شده را به سیگنال های خروجی دیجیتال (مستقیم و غیر مستقیم) تبدیل می کند.
حسگر دیجیتال: سمافور اندازه گیری شده را به خروجی سیگنال فرکانس یا سیگنال سیکل کوتاه (شامل تبدیل مستقیم یا غیر مستقیم) تبدیل می کند.
سنسور سوئیچ: هنگامی که یک سیگنال اندازه گیری شده به آستانه معینی می رسد، سنسور یک سیگنال کم یا زیاد را بر اساس آن خروجی می دهد.
با فرآیند تولید
حسگرهای مجتمع با استفاده از فناوری فرآیند استاندارد برای تولید مدارهای مجتمع نیمه هادی مبتنی بر سیلیکون ساخته می شوند.
بخشی از مدار مورد استفاده برای پردازش اولیه سیگنال مورد آزمایش نیز معمولاً روی همان تراشه یکپارچه می شود.
سنسور لایه نازک توسط یک فیلم از یک ماده حساس مربوطه که بر روی یک بستر دی الکتریک (زیر لایه) قرار گرفته است، تشکیل می شود. هنگامی که از فرآیند اختلاط استفاده می شود، می توان بخشی از مدار را نیز روی این بستر ساخت.
سنسور فیلم ضخیم با پوشاندن دوغاب ماده مربوطه بر روی یک بستر سرامیکی، که معمولاً از Al2O3 ساخته شده است، ساخته میشود و سپس برای تشکیل یک فیلم ضخیم تحت عملیات حرارتی قرار میگیرد.
سنسورهای سرامیکی با استفاده از فرآیندهای استاندارد سرامیکی یا برخی از تغییرات آن (سل، ژل و غیره) تولید می شوند.
پس از اتمام عملیات آماده سازی مناسب، جزء تشکیل شده در دمای بالا پخته می شود. ویژگی های مشترک زیادی بین دو فرآیند سنسور فیلم ضخیم و سرامیکی وجود دارد. از برخی جهات، فرآیند فیلم ضخیم را می توان به عنوان گونه ای از فرآیند سرامیکی در نظر گرفت.
هر تکنولوژی فرآیندی مزایا و معایب خاص خود را دارد. سنسورهای سرامیکی و فیلم ضخیم به دلیل منطقی تر هستند